標準號:GB/T 28632-2012
中文標準名稱:表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定
英文標準名稱:Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
標準狀態:現行,發布于2012-07-31; 實施于2013-02-01; 廢止
標準類型:國家標準
標準性質:推薦性
發布日期:2012-07-31
實施日期:2013-02-01
中國標準分類號:71.040.40
國際標準分類號:71.040.40
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會
執行單位:全國微束分析標準化技術委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
起草單位:上海市計量測試技術研究院;納米技術及應用國家工程研究中心
采標情況:本標準等同采用ISO國際標準:ISO 18516:2006。
采標中文名稱:表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定。
相近標準:20078461-T-491 表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定; GB/T 30704-2014 表面化學分析 X射線光電子能譜 分析指南; 20121403-T-469 表面化學分析 X射線光電子能譜 分析指南; GB/T 29556-2013 表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; 20110884-T-469 表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; GB/T 36401-2018 表面化學分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結果的報告; 20151802-T-469 表面化學分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結果的報告; 表面化學分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結果的報告; GB/Z 32490-2016 表面化學分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序; 20110878-T-469 表面化學分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序
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