標準號：GB/T 28277-2012
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術 微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
標準狀態：現行,發布于2012-05-11; 實施于2012-12-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2012-05-11
實施日期：2012-12-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
執行單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京大學;中國電子科技集團第十三研究所;中國電子科技集團第四十九研究所;中機生產力促進中心;中國科學院上海微系統與信息技術研究所
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