標準號：GB/T 26068-2010
中文標準名稱：硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法
英文標準名稱：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
標準狀態：被代替,發布于2011-01-10; 實施于2011-10-01; 被代替于2019-11-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2011-01-10
實施日期：2011-10-01
中國標準分類號：29.045
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料股份有限公司;中國計量科學研究院;瑟米萊伯貿易（上海）有限公司;洛陽單晶硅有限責任公司等
被以下標準代替：被GB/T26068-2018GB/T26068-2018全部代替
相近標準：20081130-T-469 硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法; 硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法; GB/T 26068-2018 硅片和硅錠載流子復合壽命的測試 非接觸微波反射光電導衰減法; 20151792-T-469 硅片和硅錠載流子復合壽命的測試 非接觸微波反射光電導衰減法; GB/T 1553-2009 硅和鍺體內少數載流子壽命測定光電導衰減法; GB/T 1553-1997 硅和鍺體內少數載流子壽命測定光電導衰減法; 20210889-T-469 硅和鍺體內少數載流子壽命的測定 光電導衰減法; 20063373-T-469 硅和鍺體內少數載流子壽命測定光電導衰減法; 硅和鍺體內少數載流子壽命的測定 光電導衰減法; 20204895-T-469 硅錠、硅塊和硅片中非平衡載流子復合壽命的測試 非接觸渦流感應法