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GB/T 24574-2009 硅單晶中Ⅲ-Ⅴ族雜質(zhì)的光致發(fā)光測(cè)試方法 現(xiàn)行

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-05-26

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 24574-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅單晶中Ⅲ-Ⅴ族雜質(zhì)的光致發(fā)光測(cè)試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行,發(fā)布于2009-10-30; 實(shí)施于2010-06-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性
發(fā)布日期:2009-10-30
實(shí)施日期:2010-06-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):29.045
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):29.045
歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
采標(biāo)情況:本標(biāo)準(zhǔn)修改采用其他國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):SEMI MF1389-0704。
采標(biāo)中文名稱:Ⅲ-Ⅴ號(hào)混雜物中對(duì)單晶體硅的光致發(fā)光分析的測(cè)試方法。
相近標(biāo)準(zhǔn):20070858-T-469 硅單晶中Ⅲ-Ⅴ族雜質(zhì)的光致發(fā)光測(cè)試方法; SJ/T 11494-2015 硅單晶中III-V族雜質(zhì)的光致發(fā)光測(cè)試方法; GA/T 593-2006 光致發(fā)光照相、錄像方法規(guī)則; QB/T 4004-2010 計(jì)時(shí)儀器 光致發(fā)光涂層 試驗(yàn)方法和要求; 20191279-T-607 計(jì)時(shí)儀器 光致發(fā)光涂層 試驗(yàn)方法和要求; 計(jì)時(shí)儀器 光致發(fā)光涂層 試驗(yàn)方法和要求; 碳化硅外延片基面位錯(cuò)的測(cè)試 光致發(fā)光法; 20068100-T-469 光致發(fā)光(磷光)安全標(biāo)記光學(xué)性能要求; GB/T 21382-2008 光致發(fā)光(磷光)安全標(biāo)記光學(xué)性能要求; SJ/T 11492-2015 光致發(fā)光法測(cè)定磷鎵砷晶片的組分

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