標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 24575-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2009-10-30; 實(shí)施于2010-06-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-06-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心;中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
采標(biāo)情況：本標(biāo)準(zhǔn)修改采用其他國際標(biāo)準(zhǔn)：SEMI MF 1617-0304。
采標(biāo)中文名稱:二次離子質(zhì)譜法測定硅和硅外延襯底表面上鈉、鋁和鉀。
相近標(biāo)準(zhǔn)：20070859-T-469 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測方法; GB/T 24580-2009 重?fù)絥型硅襯底中硼沾污的二次離子質(zhì)譜檢測方法; 20070864-T-469 重?fù)絥型硅襯底中硼沾污的二次離子質(zhì)譜檢測方法; JB/T 12608-2016 刀具表面微裂紋檢測方法; GB/T 8361-2021 冷拉圓鋼表面超聲檢測方法; 20181770-T-605 冷拉圓鋼表面超聲檢測方法; 冷拉圓鋼表面超聲檢測方法; GB/T 23904-2009 無損檢測 超聲表面波檢測方法; 20075789-T-469 無損檢測 超聲表面波檢測方法; GB/T 29851-2013 光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測量方法