標準號：GB/T 24577-2009
中文標準名稱：熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
英文標準名稱：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
標準狀態：現行,發布于2009-10-30; 實施于2010-06-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-06-01
中國標準分類號：29.045
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：信息產業部專用材料質量監督檢驗中心;中國電子科技集團公司第四十六研究所
采標情況：本標準修改采用其他國際標準：SEMI MF1982-1103。
采標中文名稱:熱解吸附氣相色譜法評估硅片表面有機污染物的方法。
相近標準：20070861-T-469 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物; WS/T 136-1999 作業場所空氣中異丙醚的熱解吸氣相色譜測定方法; WS/T 135-1999 作業場所空氣中異丁醛的熱解吸氣相色譜測定方法; WS/T 167-1999 作業場所空氣中雙乙烯酮的熱解吸氣相色譜測定方法; DB22/T 419-2005 化妝品中苯氣相色譜法測定; WS/T 140-1999 作業場所空氣中甲基異丁基甲酮的熱解吸氣相色譜測定方法; GB/T 4946-1985 氣相色譜法術語; 20061415-T-606 氣相色譜法 術語; GB/T 4946-2008 氣相色譜法 術語; GB/T 30773-2014 氣相色譜法測定 酚醛樹脂中游離苯酚含量