GB/T 15909-2009 電子工業用氣體 硅烷(SiH4) 被代替
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：電子工業用氣體 硅烷(SiH4)
英文標準名稱：Gas for electronic industry - Silane
標準狀態：被代替,發布于2009-10-30; 實施于2010-05-01; 被代替于2017-12-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：浙江大學材化學院半導體材料研究所;西南化工研究設計院
全部替代標準：GB/T 15909-1995
被以下標準代替：被GB/T15909-2017GB/T15909-2017全部代替
相近標準：GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷(SiH4); 20064396-T-469 電子工業用氣體 硅烷(SiH4); GB/T 15909-2017 電子工業用氣體 硅烷; 20132257-T-469 電子工業用氣體 硅烷; GB/T 33774-2017 電子工業用氣體 丙烯; GB/T 14601-2009 電子工業用氣體 氨; GB/T 16945-2009 電子工業用氣體 氬; GB/T 16944-2009 電子工業用氣體 氮; GB/T 14604-2009 電子工業用氣體 氧; GB/T 16942-2009 電子工業用氣體 氫
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