GB/T 11073-2007 硅片徑向電阻率變化的測量方法 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硅片徑向電阻率變化的測量方法
英文標準名稱：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2007-09-11; 實施于2008-02-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2007-09-11
實施日期：2008-02-01
中國標準分類號：77.040.01
國際標準分類號：77.040.01
歸口單位：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
執(zhí)行單位：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
主管部門：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
起草單位：峨嵋山半導體材料廠
全部替代標準：GB/T 11073-1989
相近標準：GB/T 11073-1989 硅片徑向電阻率變化的測量方法; 20031799-T-610 硅片徑向電阻率變化的測量方法; GB/T 351-2019 金屬材料 電阻率測量方法; 20162435-T-605 金屬材料 電阻率測量方法; GB/T 14144-2009 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法; 20062373-T-469 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法; GB/T 14144-1993 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法; GB/T 26074-2010 鍺單晶電阻率直流四探針測量方法; 20075054-T-469 鍺單晶電阻率直流四探針測量方法; GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法
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