GB/T 19921-2005 硅拋光片表面顆粒測試方法 被代替
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硅拋光片表面顆粒測試方法
英文標準名稱：Test method of particles on silicon wafer surfaces
標準狀態：被代替,發布于2005-09-19; 實施于2006-04-01; 被代替于2019-07-02; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2005-09-19
實施日期：2006-04-01
中國標準分類號：77.040.01
國際標準分類號：77.040.01
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會
執行單位：全國有色金屬標準化技術委員會
主管部門：中國有色金屬工業協會
起草單位：北京有色金屬研究總院
被以下標準代替：被GB/T19921-2018GB/T19921-2018全部代替
相近標準：GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測試方法; 20151791-T-469 硅拋光片表面顆粒測試方法; 硅拋光片表面顆粒測試方法; GB/T 6621-1995 硅拋光片表面平整度測試方法; YS/T 25-1992 硅拋光片表面清洗方法; 20000544-T-610 硅拋光片表面質量（顆粒）檢測方法; SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法; SJ/T 11503-2015 碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試方法; GB/T 6624-1995 硅拋光片表面質量目測檢驗方法; GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質量目測檢驗方法
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