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GB/T 17864-1999 關鍵尺寸(CD)計量方法 現行

作者：百檢網 時間：2021-05-26

標準號：GB/T 17864-1999
中文標準名稱：關鍵尺寸(CD)計量方法
英文標準名稱：CD Metrology procedures
標準狀態：現行,發布于1999-09-13; 實施于2000-06-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：1999-09-13
實施日期：2000-06-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院微電子中心
采標情況：本標準等同采用其他國際標準：SEMI P24:1994。
采標中文名稱:。
相近標準：20154013-T-469 用于測量關鍵尺寸（CD）的掃描電子顯微鏡(SEM)參數描述及術語規范; 用于測量關鍵尺寸（CD）的掃描電子顯微鏡(SEM)參數描述及術語規范; JB/T 5900-1991 通用鍛制模塊毛坯尺寸及計量方法; GB/T 9110-1988 原油立式金屬罐計量 油量計量方法; SJ/T 10502-1994 CD5型矩形插頭座; GB/T 17576-2011 CD數字音頻系統; GB/T 17576-1998 CD數字音頻系統; 20062669-T-339 CD數字音頻系統; SJ/T 11321-2006 DVD/CD只讀光頭通用技術規范; CY/T 37-2001 可記錄光盤（CD-R）產品外觀標識

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