GB/T 17866-1999 掩模缺陷檢查系統靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：掩模缺陷檢查系統靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則
英文標準名稱：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
標準狀態：現行,發布于1999-09-13; 實施于2000-06-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：1999-09-13
實施日期：2000-06-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院微電子中心
采標情況：本標準等同采用其他國際標準：SEMI P23:1993。
采標中文名稱:。
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