GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硬面光掩模用鉻薄膜
英文標準名稱：Chrome thin films for hard surface photomasks
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于1995-12-22; 實施于1996-08-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：1995-12-22
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號：31.030
國際標準分類號：31.030
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：長沙韶光微電子總公司
采標情況：本標準等效采用其他國際標準：SEMI P2:1986。
采標中文名稱:。
相近標準：GB/T 15871-1995 硬面光掩?；? SJ/T 11516-2015 薄膜晶體管（TFT）用掩模版規(guī)范; 20154011-T-469 專用衰減式移相掩模版及掩?；逄匦砸?guī)范; 專用衰減式移相掩模版及掩模基板特性規(guī)范; GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板; GB/T 16524-1996 光掩模對準標記規(guī)范; 20141709-T-609 光掩模石英玻璃基板; JB/T 9320-1999 平面光柵攝譜儀; GB/T 17866-1999 掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則; SJ/T 10274-1991 掩模對準曝光機測試方法
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