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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板現行

作者：百檢網時間：2021-05-26

標準號：GB/T 15871-1995
中文標準名稱：硬面光掩模基板
英文標準名稱：Hard surface photomask substrates
標準狀態：現行,發布于1995-12-22; 實施于1996-08-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：1995-12-22
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號：31.030
國際標準分類號：31.030
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：長沙韶光微電子總公司
采標情況：本標準非等效采用其他國際標準：SEMI P1:1992。
采標中文名稱:。
相近標準：GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜; GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板; 20141709-T-609 光掩模石英玻璃基板; 20154011-T-469 專用衰減式移相掩模版及掩模基板特性規范; 專用衰減式移相掩模版及掩模基板特性規范; GB/T 16523-1996 圓形石英玻璃光掩模基板規范; 20120286-T-469 平板顯示器掩模基板規范; GB/T 16524-1996 光掩模對準標記規范; JB/T 9320-1999 平面光柵攝譜儀; GB/T 17866-1999 掩模缺陷檢查系統靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則

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