GB/T 6621-2009 硅片表面平整度測試方法
作者：百檢網 時間：2021-07-13
中文標準名稱：硅片表面平整度測試方法
英文標準名稱：Testing methods for surface flatness of silicon slices
標準類型：H80
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
適用范圍：本標準規定了用電容位移傳感器測定硅拋光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蝕片也可參照此方法。本標準適用于測量標準直徑76mm,100mm,125mm,150mm,200mm,電阻率不大于200Ω?cm厚度不大于1000μm的硅拋光片的表面平整度和直觀描述硅片表面的輪廓形貌。
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