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GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量.紅外吸收測量方法

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-13

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 1558-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅中代位碳原子含量.紅外吸收測量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
標(biāo)準(zhǔn)類型：H80
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實(shí)施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H80
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：29.045
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 6618-2009;GB/T 14264-2009
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅中代位碳原子含量的紅外吸收測量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電阻率高于3Ω?cm的p型硅片及電阻率高于1Ω?cm的n型硅片中代位碳原子含量的測定，對于精密度要求不高的硅片，可以測量電阻率高于0.1Ω?cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在間隙位置，因而本方法不能測定總碳含量。也適用于硅多晶中代位碳原子含量測定，但其晶粒界間區(qū)的碳同樣不能測定。

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