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GB/T 14602-2014 電子工業(yè)用氣體氯化氫

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-13

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14602-2014
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體氯化氫
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Gases for electronic industry.Hydrogen chloride
標(biāo)準(zhǔn)類型：G86
發(fā)布日期：2014/12/22 12:00:00
實施日期：2015/7/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：G86
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.100.20
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯化氫的技術(shù)要求、試驗方法、標(biāo)志、包裝、貯運及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氯化氫為原料,采用純化制得的氯化氫產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于微電子工業(yè)中氣相拋光、外延和刻蝕工藝,也可用于硬質(zhì)合金、玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細(xì)化學(xué)品制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。分子式:HCl。相對分子質(zhì)量:36.458(按2009年國際相對原子質(zhì)量計算)。

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