標準號:GB/T 17359-2012
中文標準名稱:微束分析.能譜法定量分析
英文標準名稱:Microbeam analysis.Quantitative analysis using energy dispersive spectrometry
標準類型:N53
發布日期:2012/7/31 12:00:00
實施日期:2013/2/1 12:00:00
中國標準分類號:N53
國際標準分類號:71.040.99
引用標準:GB/T 27025-2008;GB/T 20726-2006;ISO 14594;ISO 16700-2004
適用范圍:本標準規定了用安裝在掃描電鏡(SEM)或電子探針(EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定區域進行定量分析的方法。定量分析是指用質量分數(或百分數)表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有元素是定量分析中必不可少的組成部分,因此,本標準也包含這方面的內容。本標準提供了多種能譜法定量分析方法,本標準適用于利用參考物質或“無標樣”程序對質量分數高于1%的元素進行定量分析。本標準對原子序數大于10的元素的分析置信度更高。本標準也規定了對原子序數小于11的輕元素的分析方法。目前沒有公認的輕元素的準確能譜儀(EDS)定量分析方法,以下是幾種常用于輕元素分析的EDS方法:a) 測量峰面積并對比峰強度。如附錄D中所述的原因,這種方法對輕元素分析結果的不確定度比重元素大。b) 當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素(Z>10)結合時,該輕元素的濃度可以通過其他元素的相關濃度比進行測定。這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定。c) 通過差值法計算濃度,即用****減去能夠分析元素的總百分數即為輕元素的百分數。這種方法只有在很好的束流穩定性和單獨測量至少一個參考 樣品的條件下才能夠應用,并且還需要精確測定樣品中的其他元素。附錄D總結了重元素存在時輕元素定量分析中的問題。如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀(WDS),可以用WDS來克服EDS分析中的低能量譜峰重疊問題。
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