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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-14

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15871-1995
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硬面光掩模基板
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Hard surface photomask substrates
標(biāo)準(zhǔn)類型：L97
發(fā)布日期：1995/12/22 12:00:00
實(shí)施日期：1996/8/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：L97
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.030
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硬面光掩模用玻璃基板（以下簡稱基板）。

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