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GB/T 17866-1999 掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-14

標準號：GB/T 17866-1999
中文標準名稱：掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度分析所用的特制缺陷掩模和評估測量方法準則
英文標準名稱：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
標準類型：L56
發(fā)布日期：1999/9/13 12:00:00
實施日期：2000/6/1 12:00:00
中國標準分類號：L56
國際標準分類號：31.200
適用范圍： 本標準的目的是制定一套可用于評估掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度的測試掩模。這套測試掩模包括：含特制圖形缺陷的測試芯片，以及不含特制圖形缺陷的參考測試芯片。由于測試芯片是由各種單元集合而所，所以在本標準中，測試芯片是用單元圖形、單元圖形中的特制缺陷、以及單元的布局來定義的。此外，測試掩模是通過規(guī)定測試芯片的排列來定義的。本標準還講述這套掩模的用法。過去的設備在靈敏度測試中，許多設備生產(chǎn)廠家和用戶使用不同的掩模，而且每個廠家和用戶各自決定不同的測試方法。在某些情況下，迄今還沒有統(tǒng)一的測量方法或靈敏度分析方法。所以，在對各廠家的設備進行靈敏度比較時，在廠家與用戶商定規(guī)范時，在用戶與用戶商定規(guī)范時，都免不了要發(fā)生混淆。所以在評估掩模缺陷檢查系統(tǒng)的靈敏度時，*好采用本標準規(guī)定了的測試掩模。

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