GB/T 18867-2002 電子工業用氣體 六氟化硫
作者：百檢網 時間：2021-07-14
中文標準名稱：電子工業用氣體 六氟化硫
英文標準名稱：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
標準類型：G86
發布日期：2002/10/15 12:00:00
實施日期：2003/4/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
適用范圍： 本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等。
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