標(biāo)準(zhǔn)號(hào):BS ISO 20341-2003
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:表面化學(xué)分析.次級(jí)離子質(zhì)譜法.多δ層標(biāo)準(zhǔn)材料深度溶解參數(shù)的估算方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
標(biāo)準(zhǔn)類型:G04
發(fā)布日期:2003/8/8 12:00:00
實(shí)施日期:2003/8/8 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):G04
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):71.040.50
適用范圍:1 This International Standard specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials. 2 This International Standard is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.
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