BS ISO 14706-2014 表面化學分析.采用全反射X射線熒光(TXRF)光譜法對硅片表面元素污染物的測定
作者：百檢網 時間：2021-07-14
中文標準名稱：表面化學分析.采用全反射X射線熒光(TXRF)光譜法對硅片表面元素污染物的測定
英文標準名稱：Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
標準類型：H17
發布日期：2014/7/31 12:00:00
實施日期：2014/7/31 12:00:00
中國標準分類號：H17
國際標準分類號：71.040.40
引用標準：ISO 14644-1;ISO 5725-2-1994
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