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GB/T 34972-2017 電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法 現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-14

標準號：GB/T 34972-2017
中文標準名稱：電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
英文標準名稱：Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2017-11-01
實施日期：2018-02-01
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.040.40
歸口單位：全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會

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