GB/T 24468-2009 半導體設備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規范
作者：百檢網 時間：2021-07-15
中文標準名稱：半導體設備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規范
英文標準名稱：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
實施日期：20091201
中國標準分類號：L85
國際標準分類號：17.040.30
適用范圍：本標準定義了設備的六個基本狀態，所有的設備條件和階段都必須歸入這六個狀態。設備的狀態由功能決定，而不管是由誰來執行此功能。本規范中所涉及的設備可靠性的測量主要集中在設備失效和設備使用的關系上，而不是設備失效和設備經歷的（日歷）總時間之間的關系。
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