ASTM E1438-2006 用次級離子質譜法(SIMS)測量深度摻雜分布界面寬度標準指南
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-15
中文標準名稱：用次級離子質譜法(SIMS)測量深度摻雜分布界面寬度標準指南
英文標準名稱：Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
標準類型：A43;H80
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：A43;H80
國際標準分類號：29.045 (Semiconducting materials)
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