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GB/T 24580-2009 重摻n型硅襯底中硼沾污的二次離子質譜檢測方法現行

作者：百檢網時間：2021-07-15

標準號：GB/T 24580-2009
中文標準名稱：重摻n型硅襯底中硼沾污的二次離子質譜檢測方法
英文標準名稱：Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
標準狀態：現行
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-06-01
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

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