GB/T 14603-2009 電子工業用氣體 三氟化硼 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-15
中文標準名稱：電子工業用氣體 三氟化硼
英文標準名稱：Gases for electronic industry - Boron trifluoride
標準狀態：現行
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
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