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GB/T 16879-1997 掩模曝光系統(tǒng)精密度和準確度的表示準則現行

作者：百檢網時間：2021-07-15

標準號：GB/T 16879-1997
中文標準名稱：掩模曝光系統(tǒng)精密度和準確度的表示準則
英文標準名稱：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
標準狀態(tài)：現行
發(fā)布日期：1997-06-20
實施日期：1998-03-01
中國標準分類號：L97
國際標準分類號：31.020
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

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