GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-15
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：硬面光掩模用鉻薄膜
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Chrome thin films for hard surface photomasks
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1995-12-22
實(shí)施日期：1996-08-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：L97
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：31.030
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
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