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20194173-T-469 硅片翹曲度和彎曲度的測試 自動非接觸掃描法 正在征求意見

作者：百檢網 時間：2021-07-16

標準號：20194173-T-469
中文標準名稱：硅片翹曲度和彎曲度的測試 自動非接觸掃描法
英文標準名稱：Test method for warp and bow of silicon wafers —Automated noncontact scanning method
標準狀態：正在征求意見
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料有限公司
相近標準： ?硅片翹曲度和彎曲度的測試 自動非接觸掃描法;GB/T 32280-2015 ?硅片翹曲度測試 自動非接觸掃描法;2012
標準制修訂：修訂

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