GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-16
中文標準名稱：硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法
英文標準名稱：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2020/7/21 12:00:00
實施日期：2021/6/1 12:00:00
中國標準分類號：上海合晶硅材料有限公司
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料有限公司
起草人：王永濤
相近標準： ?硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法;20173543-T-469 ?硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法; ?
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