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20202830-T-469 碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測試方法正在起草

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-16

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：20202830-T-469
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：正在起草
標(biāo)準(zhǔn)類型：國標(biāo)計(jì)劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.040
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
相近標(biāo)準(zhǔn)： ?碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測試方法;20091221-T-469 ?碳化硅單晶片直徑測試方法;GB/T 30866-2014 ?碳
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂

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