GB/T 32281-2015 太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-16
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2015-12-10
實(shí)施日期：2017-01-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H17
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.040.30
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
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