GB/T 40109-2021 表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方法
作者：百檢網 時間：2021-07-16
中文標準名稱：表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方法
英文標準名稱：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
標準類型：國家標準
發布日期：2021/5/21 12:00:00
實施日期：2021/12/1 12:00:00
中國標準分類號：G04
國際標準分類號：71.040.40
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所
起草人：何友琴
相近標準： ?表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方法;20193156-T-469 ?表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方
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