GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
標準類型：L55
發布日期：2016/8/29 12:00:00
實施日期：2017/3/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB/T 19022;GB/T 26111;GB 50073
適用范圍：本標準規定了采用以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。本標準適用于基于以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成的加工和質量檢驗。
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