GB/T 31469-2015 半導體材料切削液
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：半導體材料切削液
英文標準名稱：Semiconductor materials cutting fluid
標準類型：L90
發布日期：2015/5/15 12:00:00
實施日期：2016/1/1 12:00:00
中國標準分類號：L90
國際標準分類號：31-030
引用標準：GB/T 601;GB/T 603;GB/T 3143;GB/T 4472-2011;GB/T 6368;GB/T 6678;GB/T 6680;GB/T 6682-2008;GB/T 8170;GB/T 10247;GB/T 11275;GB/T 11446.1;GB/T 12582;GB/T 15346-2012
適用范圍：本標準規定了半導體材料切削液的各項技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、儲存及運輸等要求。本標準適用于半導體材料線切割加工采用的切削液。
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