GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)測試方法
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-19
中文標準名稱：Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)測試方法
英文標準名稱：Test method for lattice constant of Ⅲ-nitride epitaxial layers
標準類型：H21
發(fā)布日期：2014/12/31 12:00:00
實施日期：2015/9/1 12:00:00
中國標準分類號：H21
國際標準分類號：77.040.20
適用范圍：本標準規(guī)定了利用高分辨X射線衍射測試Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)的方法。本標準適用于在氧化物襯底(Al
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