GB/T 4059-2007 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
英文標準名稱：Polycrystalline silicon.Examination method.Zone-melting on Phosphorus under controlled atmosphere
標準類型：H17
發布日期：2007/9/11 12:00:00
實施日期：2008/2/1 12:00:00
中國標準分類號：H17
國際標準分類號：77.040.01
引用標準：GB/T 1551;GB/T 1553;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 13389;GB/T 14264
適用范圍：本標準適用于多晶硅沉積在硅芯上生長的多晶硅棒基磷的檢驗。本標準檢測雜質濃度的有效范圍：0.002×10
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