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產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 31058-2014 電子工業(yè)用氣體四氟化硅

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-19

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 31058-2014
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體四氟化硅
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Gases for electronic industry.Silicon tetrafluoride
標(biāo)準(zhǔn)類型：G86
發(fā)布日期：2014/12/22 12:00:00
實(shí)施日期：2015/7/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：G86
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.100.20
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業(yè)中等離子蝕刻、發(fā)光二*管P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料。分子式:SiF

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