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GB/T 10067.410-2014 電熱裝置基本技術(shù)條件第410部分:單晶爐

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-19

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 10067.410-2014
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電熱裝置基本技術(shù)條件第410部分:單晶爐
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Basic specifications for electroheat installations.Part 410: Single crystal growing furnace
標(biāo)準(zhǔn)類型：K61
發(fā)布日期：2014/12/5 12:00:00
實施日期：2015/4/16 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：K61
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：25.180.10
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB 150-2011;GB/T 2900.23-2008;GB 3095-2012;GB 8702-1998;GB 8978-1996;GB/T 10066.1-2004;GB/T 10066.4-2004;GB/T 10067.1-2005;GB/T 10067.4-2005;GB 12348-2008;GB 16297-1996;JB/T 9691-1999
適用范圍：GB/T 10067的本部分規(guī)定了對TDR晶體爐的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存。本部分適用于直拉法拉制半導(dǎo)體硅、鍺等單晶的單晶爐。

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