GB/T 15862-2012 離子注入機通用規范
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：離子注入機通用規范
英文標準名稱：General specification of ion implantation equipment
標準類型：L97
發布日期：2012/11/5 12:00:00
實施日期：2013/2/15 12:00:00
中國標準分類號：L97
國際標準分類號：31.550
引用標準：GB/T 191;GB/T 4857.7-2005;GB/T 5080.7-1986;GB/T 6388-1986;GB/T 13384-1992;GB 18209.1;SJ/T 142;SJ/T 1276;SJ/T 10674
適用范圍：本標準規定了離子注入機的術語、產品分類、技術要求、試驗、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。
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