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GB/T 15861-2012 離子束蝕刻機通用規(guī)范

作者：百檢網時間：2021-07-19

標準號：GB/T 15861-2012
中文標準名稱：離子束蝕刻機通用規(guī)范
英文標準名稱：General specification of ion beam etching system
標準類型：L97
發(fā)布日期：2012/11/5 12:00:00
實施日期：2013/2/15 12:00:00
中國標準分類號：L97
國際標準分類號：31.550
引用標準：GB/T 4857.7-2005;GB/T 191;GB/T 5080.7-1986;GB/T 6388-1986;GB/T 13384-1992;SJ/T 142;SJ/T 1276;SJ/T 10674
適用范圍：本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術語、產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存。本標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。其他專用離子束蝕刻機亦可參照執(zhí)行。

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