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GB/T 26112-2010 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微機械量評定總則

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-19

標準號：GB/T 26112-2010
中文標準名稱：微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微機械量評定總則
英文標準名稱：Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
標準類型：L55
發(fā)布日期：2011/1/10 12:00:00
實施日期：2011/10/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB/T 26111
適用范圍：本標準規(guī)定了微機械量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規(guī)則。本標準適用于企業(yè)、研究機構(gòu)、檢測機構(gòu)從事微機電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計、生產(chǎn)、檢測及使用。

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