GB/T 17874-2010 電子工業用氣體 三氯化硼
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：電子工業用氣體 三氯化硼
英文標準名稱：Gases for electronic industry.Boron trichloride
標準類型：G86
發布日期：2011/1/14 12:00:00
實施日期：2011/5/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB 7144;GB/T 8984;GB 14193;GB/T 26571;《氣瓶安全監察規程》（國家質量監督檢驗檢疫總局發布，2000年）
適用范圍：本標準規定了三氯化硼的技術要求、試驗方法及標志、包裝、貯運及安全。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導體器件生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。
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