GB/T 6621-2009 硅片表面平整度測(cè)試方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-19
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅片表面平整度測(cè)試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Testing methods for surface flatness of silicon slices
標(biāo)準(zhǔn)類型：H80
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實(shí)施日期：2010/6/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H80
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：29.045
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用電容位移傳感器測(cè)定硅拋光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蝕片也可參照此方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)直徑76mm,100mm,125mm,150mm,200mm,電阻率不大于200Ω?cm厚度不大于1000μm的硅拋光片的表面平整度和直觀描述硅片表面的輪廓形貌。
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