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GB/T 26065-2010 硅單晶拋光試驗片規范

作者：百檢網時間：2021-07-19

標準號：GB/T 26065-2010
中文標準名稱：硅單晶拋光試驗片規范
英文標準名稱：Specification for polished test silicon wafers
標準類型：H80
發布日期：2011/1/10 12:00:00
實施日期：2011/10/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
引用標準：GB/T 1550;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 1557;GB/T 2828.1;GB/T 4058;GB/T 6616;GB/T 6618;GB/T 6619;GB/T 6620;GB/T 6621;GB/T 6624;GB/T 11073;GB/T 12964;GB/T 13387;GB/T 13388;GB/T 14140;GB/T 14264;YS/T 26;SEMI 24;ASTM F1526
適用范圍：1.本標準規定了半導體器件制備中用作檢驗和工藝控制的硅單晶試驗片的技術要求。2.本標準涵蓋尺寸規格、結晶取向及表面缺陷等特性要求。本標準涉及了50.8mm～300mm所有標準直徑的硅拋光試驗片技術要求。3.對于更高要求的硅單晶拋光片規格，如：顆粒測試硅片、光刻分辨率試驗用硅片以及金屬離子監控片等，參見SEMI24《硅單晶優質拋光片規范》。

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