標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 24468-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
標(biāo)準(zhǔn)類型：L40;L85
發(fā)布日期：2009/10/15 12:00:00
實(shí)施日期：2009/12/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：L40;L85
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：17.040.30
引用標(biāo)準(zhǔn)：SEMI E35;SEMI E58;SEMI E79;SEMI El16
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)通過提供半導(dǎo)體制造設(shè)備(以下簡稱設(shè)備)在制造環(huán)境下的可靠性、可用性和維修性(以下簡稱RAM)性能的測量標(biāo)準(zhǔn)，為這種設(shè)備的用戶和設(shè)備供應(yīng)商建立一個交流的共同基礎(chǔ)。本標(biāo)準(zhǔn)定義了設(shè)備的六個基本狀態(tài)，所有的設(shè)備條件和階段都必須歸入這六個狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài) 由功能決定，而不管是由誰來執(zhí)行此功能。本規(guī)范中所涉及的設(shè)備可靠性的測量主要集中在設(shè)備失效和設(shè)備使用的關(guān)系上，而不是設(shè)備失效和設(shè)備經(jīng)歷的(日歷)總時間之間的關(guān)系。本標(biāo)準(zhǔn)第5章(設(shè)備的狀態(tài))定義了設(shè)備的時間是如何分類的，第6章(RAM測量)確定了測量設(shè)備性能的公式。第7章(不確定度測量)給出了用統(tǒng)計(jì)學(xué)對計(jì)算出的性能量值進(jìn)行評估的方法。本標(biāo)準(zhǔn)的有效實(shí)施，要求設(shè)備的(RAM)性能可以通過設(shè)備的運(yùn)行時間和周期進(jìn)行跟蹤。對設(shè)備狀態(tài)的自動跟蹤不屬于本標(biāo)準(zhǔn)的范圍，它由SEMI E58所覆蓋。用戶和供應(yīng)商之間的清晰有效的溝通可以促進(jìn)設(shè)備性能的不斷提高。本標(biāo)準(zhǔn)中的RAM指標(biāo)可以在整個設(shè)備和分系統(tǒng)層次上直接應(yīng)用于非集群設(shè)備，也可以在分系統(tǒng)層次(比如工藝模塊)用于多路集群設(shè)備。