GB/T 26307-2010 銀靶
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：銀靶
英文標準名稱：Silver target
標準類型：H68
發布日期：2011/1/14 12:00:00
實施日期：2011/11/1 12:00:00
中國標準分類號：H68
國際標準分類號：77.120.99
引用標準：GB/T 4135;GB/T 6394;GB/T 11067;GB/T 15077
適用范圍：本標準規定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書與訂貨單(或合同)內容。 本標準適用于半導體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。
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