標準號:GB/T 22571-2008
中文標準名稱:表面化學分析.X射線光電子能譜儀.能量標尺的校準
英文標準名稱:Surface chemical analysis.X-ray photoelectron spectrometers.Calibration of energy scales
標準類型:G04
發布日期:2008/12/11 12:00:00
實施日期:2009/10/1 12:00:00
中國標準分類號:G04
國際標準分類號:71.040.40
適用范圍:本標準規定了一種用于一般分析目的時校準X射線電子能譜儀結合能標尺的方法,該譜儀使用非單色化Al或MgX射線或單色化AlX射線。它僅適于帶有濺射清潔用的離子槍的儀器。本標準還進一步規定了一種方法,用以建立校準程序、在中間某一能量值測試結合能標尺線性度、在高低結合能區各取一點確認標尺校準的不確定度、對標尺的小漂移作修正以及規定在95%置信度時該結合能標尺校準的擴展不確定。這個不確定度包括來自實驗室際研究中觀察到的現象的貢獻,但不涵蓋所有可能發生的缺陷。本標準不適用于有下述情況的儀器:結合能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化、工作在固定減速比模式且減速比小于10、譜儀的分辨率差于1.5eV或者要求公差*限為±0.03eV或更小。本標準不提供全標尺校準檢驗,該檢驗要對每一個在能量標尺上能找到的點加以驗證,必須按儀器制造商的推薦程序進行。
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