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GB/T 22462-2008 鋼表面納米、亞微米尺度薄膜.元素深度分布的定量測定.輝光放電原子發射光譜法

作者:百檢網 時間:2021-07-19

標準號:GB/T 22462-2008
中文標準名稱:鋼表面納米、亞微米尺度薄膜.元素深度分布的定量測定.輝光放電原子發射光譜法
英文標準名稱:Nano,Sub-micron scale film on steel.Quantitative depth profile analysis.Glow discharge atomic emission spectrometry
標準類型:G04
發布日期:2008/10/30 12:00:00
實施日期:2009/6/1 12:00:00
中國標準分類號:G04
國際標準分類號:17.180
引用標準:GB/T 6379.1;GB/T 6379.2;GB/T 19502;GB/T 20066;GB/T 22461-2008;ISO 5725-3;ISO 6955-1982
適用范圍:本標準采用輝光放電原子發射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜(金屬鍍膜和氧化膜)中膜厚、鍍層質量(單位面積)和薄膜中的元素深度分布。本方法適用于測定3nm~1000nm厚度的鋼表面薄膜,適用的元素包括:鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、碳、磷、氧、氮和硅。

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